Poudre de polissage pour plaquettes de silicium
La plaquette fait référence à la plaquette de silicium utilisée dans la fabrication de circuits intégrés à semi-conducteurs. Les plaquettes de silicium peuvent être transformées en diverses structures d’éléments de circuit. Choisir la poudre de polissage appropriée est très important.
Le meulage, le polissage et l’amincissement des plaquettes de silicium monocristallin sont des processus importants pour le traitement des plaquettes de silicium. Après avoir coupé la plaquette, la surface aura des dommages de coupe et des rayures. Ce travail de polissage est un processus de polissage précis.
Généralement, la poudre blanche d’oxyde d’aluminium de 1200 mesh, 1500 mesh et 2000 mesh sont des supports de broyage en tant que poudre de polissage de plaquettes de silicium. L’effet de polissage est relativement bon. La surface de la plaquette de silicium n’a pas de rayures et peut atteindre une rugosité de surface de 10 à 20 um. Cela permet de préparer l’effet de polissage miroir du meulage du substrat de la plaquette de silicium.
La poudre d’oxyde d’aluminium blanche de Haixu Abrasives présente les caractéristiques d’une taille de particule uniforme (bon résultat PSD), d’une dureté élevée et d’une pureté élevée, ce qui évite les inconvénients des grosses particules d’endommager la surface lors du meulage et du polissage.
